气体质量流量控制器工作原理

2017-12-18

气流进入进气管道接头后绝大部分流量流过分流器通道,其中很小一部分进入传感器内部的毛细钢管。由于分流器通道的特殊结构,可以实现这两部分气体流量成正比例关系。传感器经过预热加温,里面的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理测量这一小部分气体的质量流量。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。将传感器测得的流量检测信号输入电路板,经过放大后输出,就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,以此为基础控制调节阀,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了MFC的功能。

本网站由阿里云提供云计算及安全服务 Powered by CloudDream