气体质量流量控制器常见故障处理
现象 | 故障可能原因 | 处理方法 |
1.开机预热后不通气, 流量检测值不正常 | ·零点漂移 | 调整调零电位器 |
·电源地和信号地未短接 | 参考6.2.2和6.2.3中的接线图接线 | |
·传感器损坏 | ※更换传感器 | |
·电路板损坏 | ※更换或维修电路板 | |
2.开机预热后,无气流通过 | ·管道中有阻塞的地方 | 检查气源开关、截止阀、过滤器 |
·调节阀被强制关闭 | 将阀开关置于自动控制或全开 | |
·设定信号为零或断开 | 检查设定电位器是否故障 | |
·电路板损坏 | ※更换或维修电路板 | |
3.调节阀关闭,仍有较大的气流通过 | ·超出工作压差范围使用 | 减小工作压差 |
·调节阀损坏 | ※维修或更换调节阀 | |
4.设定信号为零时仍有气流通过 | ·调节阀损坏 | ※维修或更换调节阀 |
·MFC零点为负值 | 调整MFC零点 | |
5.气流达不到满量程值 | ·低于工作压差范围使用 | 提高工作压差 |
·分流器通道阻塞 | ※清洗分流器通道 | |
·设定信号电压值低于5.00V | 提高设定信号电压 | |
·电路板损坏 | ※更换或维修电路板 | |
6.显示流量与真实流量不符 | ·流量显示仪与MFC/MFM不匹配 | ※更换流量显示仪 |
·传感器被污染 | ※更换传感器 | |
·零点漂移过大 | 调整零点 | |
7.很大气流通过,但没有流量检测信号 | ·传感器被污染阻塞 | ※更换传感器 |
·电路板损坏 | ※更换或维修电路板 | |
8.气流震荡和波动比较大 | ·气源不稳定 | 检查气源调压阀是否故障 |
·电路板损坏 | ※更换或维修电路板 | |
9.高频辐射源带来干扰 | ·机壳未接地 | 将机壳接地,并注意一点接地 |
·未加装辐射屏蔽 | 加装辐射屏蔽,使用屏蔽电缆 |
标※号的项目请务必由我公司维修。
气体质量流量控制器常见故障处理
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