现象	故障可能原因	处理方法
1.开机预热后不通气, 流量检测值不正常	·零点漂移	调整调零电位器
	·电源地和信号地未短接	参考6.2.2和6.2.3中的接线图接线
	·传感器损坏	※更换传感器
	·电路板损坏	※更换或维修电路板
2.开机预热后，无气流通过	·管道中有阻塞的地方	检查气源开关、截止阀、过滤器
	·调节阀被强制关闭	将阀开关置于自动控制或全开
	·设定信号为零或断开	检查设定电位器是否故障
	·电路板损坏	※更换或维修电路板
3.调节阀关闭，仍有较大的气流通过	·超出工作压差范围使用	减小工作压差
	·调节阀损坏	※维修或更换调节阀
4.设定信号为零时仍有气流通过	·调节阀损坏	※维修或更换调节阀
	·MFC零点为负值	调整MFC零点
5.气流达不到满量程值	·低于工作压差范围使用	提高工作压差
	·分流器通道阻塞	※清洗分流器通道
	·设定信号电压值低于5.00V	提高设定信号电压
	·电路板损坏	※更换或维修电路板
6.显示流量与真实流量不符	·流量显示仪与MFC/MFM不匹配	※更换流量显示仪
	·传感器被污染	※更换传感器
	·零点漂移过大	调整零点
7.很大气流通过，但没有流量检测信号	·传感器被污染阻塞	※更换传感器
	·电路板损坏	※更换或维修电路板
8.气流震荡和波动比较大	·气源不稳定	检查气源调压阀是否故障
	·电路板损坏	※更换或维修电路板
9.高频辐射源带来干扰	·机壳未接地	将机壳接地，并注意一点接地
	·未加装辐射屏蔽	加装辐射屏蔽，使用屏蔽电缆

标※号的项目请务必由我公司维修。

气体质量流量控制器常见故障处理

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