气体质量流量控制器用途和特点

2017-12-18

气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,以下简称MFC)可对气体的质量流量进行精密测量和控制;气体质量流量计(Mass Flow Meter,以下简称MFM)可对气体的质量流量进行精密测量。本产品应用的行业主要有:化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有:真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使用,也可通过模拟/数字信号转换器(AD/DA转换器)配合计算机使用。

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