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气体质量流量控制器结构
气体质量流量计（MFM）由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道和机壳等部件组成，只能对气体质量流量进行测量；在气体质量流量计（MFM）的基础上加上调节阀构成气体质量流量控制器（MFC），既可以对气体质量流量进行测量，也能对流量进行控制，见下图。
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