气体质量流量控制器结构

2017-12-18

气体质量流量计MFM)由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道和机壳等部件组成,只能对气体质量流量进行测量;在气体质量流量计(MFM)的基础上加上调节阀构成气体质量流量控制器(MFC),既可以对气体质量流量进行测量,也能对流量进行控制,见下图。

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